A-322 Physik Instrumente Planarscanner

Der A-322 Planarscanner schafft wegen seiner Luftlager lange Stellwege sehr präzise. – Quelle: Physik Instrumente

Damit eignet sich der Planarscanner beispielsweise für den Einsatz in Inspektionssystemen, die eine hohe Präzision und Durchsatzrate erfordern und unter Reinraumbedingen arbeiten.

Die Ankopplung der Traverse zur unteren Achse über Festkörpergelenke ermöglicht eine laterale Entkopplung ohne auf die Gesamtsteifigkeit des Systems zu verzichten. Eisenlose Linearmotoren bieten einen gleichmäßigen Lauf ohne Rastmoment oder Anzugskräfte.

Außerdem ist der PIglide Planarscanner mit drei genauen Linearencodern ausgestattet: Einer für die untere und zwei für die obere Achse. Wahlweise stehen hierfür inkrementelle oder Absolutencoder zur Verfügung.

Der A-322 wird mit Digitalcontrollern führender Hersteller betrieben. Sie bieten beispielsweise fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der Dynamik und Führungsfehlerkompensation sowie eine große Auswahl an Werkzeugen für die Softwareentwicklung.

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