Dieser Plasmaanregungs-Gleichstromgenerator mit einer Ausgangsleistung von 20 bis 160 kW erzeugt

Dieser Plasmaanregungs-Gleichstromgenerator mit einer Ausgangsleistung von 20 bis 160 kW erzeugt seine Leistung konstant und präzise über einen breiten Lastanpassungsbereich. (Bild: Hüttinger Elektronik GmbH)

Homogene, dünne Schichten in Arc-reichen Sputterprozessen waren bisher vor allem mit hochpreisigen gepulsten Prozessstromversorgungen erreichbar.

FREIBURG (rm). Deutlich preiswerter schaffen das nach Meinung der Hüttinger GmbH nun die kontinuierlichen Gleichstromgeneratoren der TruPlasma DC Serie 3000, die auch in anspruchsvollen Prozessen gute Beschichtungsresultate erzielen sollen.

Der Gleichstromgenerator liegt mit einer Ausgangsleistung von 20 bis 160 kW vor. Er erzeugt seine Leistung konstant und präzise über einen breiten Lastanpassungsbereich.

Die Generatoren eignen sich somit für Beschichtungsverfahren in der Solarzellenherstellung und der Architekturglasbeschichtung, in denen Prozesssicherheit und hoher Durchsatz besonders wichtig sind.

Das Arc-Management CompensateLine wurde erneut verbessert. Kommt es zu einem Arc-Fall, gleicht das System die gespeicherte Energie in der Ausgangschaltung sowie im Verbindungskabel zwischen Generator und Kathode noch besser aus. Dies führt zu einer schnellen Reaktionszeit des Generators auf das Arc und verringert die Restenergie deutlich.

Darüber hinaus bewirkt das Management, dass die Arc-Energie nicht ungenutzt entweicht. Vielmehr wird sie wieder dem Generator und damit dem Prozess zugeführt. Zum einen ist der Generator damit deutlich energieeffizienter als luftgekühlte Prozessstromversorgungen. Zum zweiten strahlt er weniger Wärme ab, was die Gefahr einer Überhitzung des Gerätes verringert.

Mit den Generatoren kann der Anwender daher wirtschaftlicher produzieren als mit anderen Prozessstromversorgungen. Selbst in Arc-reichen Prozessen, wie dem Sputtern von TCO-Schichten, sind dünne und homogene Schichten erzielbar. Wo bisher nur gepulste Generatoren eingesetzt werden konnten, besteht nach Herstellerangabe nun eine kostengünstige Alternative mit günstigen Ergebnissen.

Vorteilhaft ist auch die vollständige Wasserkühlung der Generatoren. Sie lässt eine kompakte Bauweise zu, mit der der Generator in bestehende Beschichtungsanlagen integrierbar ist. Unterstützt wird die einfache Integration durch viele Kommunikationschnittstellen.

Die Wasserkühlung verbessert zudem die Robustheit des Generators. Verunreinigungen gelangen nicht ins Gerät und ein Zusatzfilter ist nicht notwendig. Egal ob bei großer Hitze oder in staubigem Umfeld – der Generator ist von seiner Umgebung weitgehend unabhängig und und erweist sich auch unter rauen Bedigungen als zuverlässig und widerstandsfähig.

Trotz ihrer kompakten Größe haben die Generatoren eine große Leistungsdichte. Wichtig ist vor allem die hohe Brennspannung der Prozessstromversorgung von 1 000 V. Dadurch kann der Generator flexibel für eine große Bandbreite an Prozessen eingesetzt werden. Er lässt sich bei einer Eingangsspannung von 400 bis 480 V betreiben.